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 제목 | Vacuum Pump 목록
 작성자 | seinchung 작성일  | 2019/10/19 8:20 pm
Super User : 정세인

새로운번호 설치장소 펌프이름 사용목적 구매일자 수리이력 문제발생 고장일자

1 합성방 복도 KODIVAC _ GRP-180 / (벨트) 베큠 오븐 x 2 2019.10 벨트 교체 / 오일 보충
2 합성방 Jungwoo WSA 40 이베포레이터 / Distillation

3 큰실험실 복도 SEHWA SHP-180B 소자 건조용 베큠 오븐
4 큰실험실 KODIVAC 550K RIE 2019.8 펌프 내부 ring 수리
5 큰실험실 Rocket 300 (소형펌프) Solar EQE
6 큰실험실 Jungwoo MVP 36 열증착기
7 큰실험실 Woosung Automa 20 글러브박스
8 큰실험실 M-tech K40PSV (소형펌프) 글러브박스
9 큰실험실 KODIVAC 340K 글러브박스
10 큰실험실 Woosung MVP 12 글러브박스
11 큰실험실 Woosung W2V20 글러브박스
12 큰실험실 Woosung MVP 24 글러브박스
13 큰실험실 Woosung W2V20 글러브박스 2019.10 중고 펌프 교체 / 오일 보충 오일 Seal ring 부식으로 인한 교체
14 큰실험실 Rocker 300 스핀코터
15 큰실험실 Adixen Pascal 2021SD 진공을 필요로하는 실험용
16 큰실험실 KODIVAC GHP 340K CVD
17 큰실험실 KODIVAC GHP 340K Mini - CVD
18 큰실험실 복도 KODIVAC GHP 150K 데시케이터
19 큰실험실 복도 KODIVAC GRP 180 / (벨트) 데시케이터
20 큰실험실 복도 Kodivac 240K 데시케이터 2019.9 벨트 교체 / 오일 보충
21 큰실험실 복도 Sehwa SHP 180B 데시케이터

22 새실험실 Woosung MVP 36 Parylene coater
23 새실험실 Woosung MVP 12 Freeze Dryer
24 새실험실 Kodivac 550K 고장난 펌프
25 새실험실 Kodivac 240K 안쓰는 새펌프 (형섭)
26 새실험실 Woosung Automa 40 유기증착기
27 새실험실 Woosung MVP 12 Spray Coater
28 새실험실 Rocker 410 (오일 x) Bar Coater
29 새실험실 Rocker 300 (오일 x) 성원 Perov Room

30 집중방 복도 Woosung Automa SKW 8750-1 Probe station / peccs
31 집중방 복도 Woosung W2V20 데시케이터 2019.10 오일 보충
32 집중방 soxu 15i IR 광전류 분광기
33 집중방 M-tech K40PSV (소형펌프) Yellow Room 리쏘그래피
34 집중방 M-tech K40PSV (소형펌프) Yellow Room Spin Coater
35 집중방 Rocker 610 (소형펌프) 제트모션구동

36 OMBD방 Rocket 300 (소형펌프) 간이 글러브박스
37 OMBD방 Woosung Automa W2V20 글러브박스 OMBD
38 OMBD방 Kodivac GHP-800K OMBD
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