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Ellipsometry |
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seinchung |
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2021/09/07 3:22 pm |
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<유저 목록>
슈퍼유저: 정세인 (조길원 교수님 연구실)
기타유저: 김승현, 한세교, 권혁진, 김지민 (조길원 교수님 연구실)
고명철, 윤형건, 박경배, 김준, 송홍선, 김도경 (타 교수님 연구실)
<장비보수내역>
2019.10.11 램프교체 및 장비 Align 재조정
2019.10.16 Stage Align 재조정
2021.09.07 정상 작동 중 |
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