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ksw1118 |
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2019/10/22 4:28 pm |
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<유저 목록>
슈퍼유저: 김성원
유저: 이한솔, 손종현, 누잉, 김성현, 최진혁, 김승현, 노기영 (노용영 교수님 연구실)
<유지 보수 내역>
2014
- Sample plate 재주문
- Software 통신 에러 방문 점검 및 해결
- OC Power supply 교체
- Metal chamber sensor line 교체
- Aligner sensor 점검 및 해결
2015
-OC power supply 점검 및 교체
-In-vacuum cable 점검 및 교체
2016
-Chiller로 연결되는 water flow valve 점검
-중온 cell (#7,8,9) 파워 이상 점검 및 교체
-In-vacuum cable 교체
-Sub shutter motor drive 확인 및 교체
2017
-없음
2018
-건물 천장 누수로 인한 Aligner 점검
2019
-펌프 및 Roughing line 점검 및 교체
-Aligner movement 점검
-정전으로 인한 venting line error 점검 |
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