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 제목 | OMBD
 작성자 | ksw1118 작성일  | 2019/10/22 4:28 pm
<유저 목록>
슈퍼유저: 김성원
유저: 이한솔, 손종현, 누잉, 김성현, 최진혁, 김승현, 노기영 (노용영 교수님 연구실)

<유지 보수 내역>

2014
- Sample plate 재주문
- Software 통신 에러 방문 점검 및 해결
- OC Power supply 교체
- Metal chamber sensor line 교체
- Aligner sensor 점검 및 해결

2015
-OC power supply 점검 및 교체
-In-vacuum cable 점검 및 교체

2016
-Chiller로 연결되는 water flow valve 점검
-중온 cell (#7,8,9) 파워 이상 점검 및 교체
-In-vacuum cable 교체
-Sub shutter motor drive 확인 및 교체

2017
-없음

2018
-건물 천장 누수로 인한 Aligner 점검

2019
-펌프 및 Roughing line 점검 및 교체
-Aligner movement 점검
-정전으로 인한 venting line error 점검
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