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Reactive Ion Etching (RIE) |
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mathjoo |
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2019/10/21 10:25 am |
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<유저 목록>
슈퍼 유저: 주덕현 손종현
기타 유저: Ngan Nguyen, 임형섭, 김성현, 김성원, 양석주, 노하정, 김승현, 김민규, 정세인, 고명철, 서태원, 이재용, 최청룡, 김준, 장준호, 김건우, 김태연, 서태원
<보수 내역>
2018.01 pressure pump 교체
2018 02 H2, NFC 교체
2019 02 내부전체클리닝, 빔교체교체, 금속판교체
2019.06 칠러 펌프 교체
2019.07 펌프역류방지부분 교체
2019.08 PC고장 수리 |
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